濕（shī）法蝕刻工藝對銅及其合金蝕刻（kè）劑的簡述

       濕蝕刻法（fǎ）已經廣泛應用於生產各微元件。操作的的過程較易操作。工藝過程中最重要的是選擇合（hé）適的溶液（yè）（即生產時用（yòng）的蝕刻劑）。它的濃度會影響產品的表麵光（guāng）潔度和蝕刻速率。銅（tóng）及其合金應用於各行業，特別是電子（zǐ）行業的（de）生產。基於銅優異的導熱性和導電性，易於製（zhì）造和以及銅的強度（dù）優良，因此得到了廣泛的應用。

       用於銅濕法蝕刻的蝕刻劑

       氯化鐵是濕蝕刻（kè）過程中應（yīng）用最廣泛的蝕刻劑。優點是蝕刻速（sù）率高（gāo），且易於再（zài）生，對環境不會（huì）有多次傷害。但其多功能（néng）性(如對錫鉛的耐腐蝕劑)、低溶解銅容量和化學（xué）再生後的複雜溶液，鐵侵蝕銅表麵時，三價鐵離子將銅氧化成（chéng）氯化銅，形成（chéng）綠色（sè）氯化鐵，如下：

       二氯化鐵 銅->二氯化鐵（tiě） 氯化（huà）銅

       銅的濕蝕刻條件是溫度為50-55℃，蝕刻劑濃度（dù）為40-42倍。鹽酸（suān）(HCl)加（jiā）入三氯化鐵，以（yǐ）提高銅的濕腐蝕性。

       在銅的濕蝕刻過程，需（xū）控製兩個參數，即比例和pH值。pH值保持在8-8.5之間.比重為（wéi）1.18-1.20。建議將溫度保持在50℃，以獲得高蝕刻速率。